氦气穿透能力强，且易捕捉，对漏点有很好的检出能力，可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部，氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为10−11～10−12cm3/sec的小洞），灵敏度可与放射性检漏方法匹敌，但要比放射性检漏方法简便。
    氦气的最外层的电子是2，而且氦只有一层电子，第一层电子是2，这意味着达到了稳定结构，所以氦气的化学性质相对来说比较稳定。不易发生反应、爆炸等，操作过程安全。在一些比较值钱的设备：例如飞机、宇宙飞船等都喜欢用氦气检漏。氦气稳定。当然也可用氢气检漏，但是氢气易燃易爆，容易引发事故，用氢气检测严禁吸烟，远离烟火。但用氦气检漏成本较贵，单瓶1000元左右。
    氦气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
    氦气检漏仪进行氦气检漏方法操作：
    1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测；
    2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气” 灯亮起，等待系统运行 ；
    3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15， 一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始氦气检漏（等待几分钟）；
    4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过 10MPa,否则机器易损坏；
    5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底” ；
    6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氦气后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
    7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。