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怎样把氯化氢气体泄露的源头扼杀在摇篮里?

来源:蓝动标准气体      发布时间:2015-07-24
    怎样把氯化氢气体泄露的源头扼杀在摇篮里?貌似是很多客户关心的问题,可能涉及到厂家,货运,仓库,经销商甚至是客户。所以说哪里接手了氯化氢气体哪里都有可能导致泄露。  


    存放—氯化氢的钢瓶要求: 

    1. 气瓶使用和检验遵照国家质量技术监督局《气瓶安全监察规程》的规定。
    2. 气瓶不得靠近火源,不得受日光曝晒,与明火距离一般应该不小于10米,气瓶不得撞击。
    3. 气瓶的瓶子严禁沾染油脂。
    4. 气瓶内的气体不能全部用尽,应该留不小于0.04MPa剩余压力。
    5. 气瓶充气压力不得超过规定压力。
    6. 安全帽要随时装上,一保护气阀。 

    操作搬运:
    操作注意事项:搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。运输按规定路线行驶,勿在居民区和人口稠密区停留。倒空的容器可能有残留的液体。

    存储:
    氯化氢为不燃有毒液化气体。储存于阴凉、通风的仓库内。仓库内温度不宜超过30℃,远离火种、热源,防止阳光直射,采用防爆照明。应与碱类、金属粉末、易燃或可燃物等分开存放。储区应备有泄漏应急处理设备和消防器材。验收时要注意品名,注意生产日期,先生产的先发用。

    最终用户安全操作:
    氯化氢气体到达需求企业车间后的安全操作规范也同样重要:氯化氢气体管件在安装时,施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行,这样可以减少使用接头的数量,降低潜在的氯化氢气体泄漏风险。管件与管件间的连接最好以轨道式焊接法(Orbital Welding)来接合,对于不锈钢的焊接要采用氩弧焊,并向施焊管内通入同等纯度的氩气,这样可以确保连接的品质,并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳,从而造成氯化氢气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封(Metal to metal face seal)的方式进行。一般晶圆厂比较常用的氯化氢气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种,具体选用形式应根据生产工艺对高纯度氯化氢气体的用气要求和氯化氢气体本身特性进行选择。

    一般情况下,VCR式的接头主要用在制程氯化氢气体以及危险气体的传输上,管路连接后接头里面的垫圈(Gasket)将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率(Leakage Rate)。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上,因为这些气体可以容许一定的外泄率,所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说,管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量,因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。

    所以严防泄漏也是氯化氢需求企业重点关注的问题。
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