激光切割辅助气体主要是干燥空气、高纯氮气或工业氧气，当切割不锈钢板或是切割铝板时一般使用高纯氮气作为辅助气体，一般压力要求比较高。切割碳钢时一般使用氧气起到冷却切边和加速燃烧碳钢已提高切割速度。当然，当钢瓶厚度薄，对切割质量要求不高时可以用干燥空气替代高纯氮气等辅助气体。切割辅助气体一般质量要求不高，关键是价格便宜，压力适合。
常见的激光混合气的组成和主要用途：
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类别 |
混合气组成/（10-2） |
用途 |
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H2 |
Ne |
Ar |
N2 |
CO2 |
Kr |
F |
Xe |
CO |
HCl |
平衡气 |
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氦氖激光 混合气 |
2-8.3 |
He |
用于工业生产，科学研究和国防建设等领域 |
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CO2激光 混合气 |
0.4 |
13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12 |
4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 |
2.0 4.0 2.0 4.0 |
主要用于激光加工，如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等 |
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氪氟激光 混合气 |
5.0 |
10.0 1-0.2 |
用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 |
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密封束 激光气 |
18.5 |
3 |
2.5 |
作研究用的密封束激光气 |
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准分子 激光气 |
25.8 |
9.8 |
0.004 |
1 5 0.2 |
5.0 |
Ar He He Ar |
准分子激光器用于医疗上的外科手术 |
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