氦气纯度
1、工业氦
项目名称指标

氦气纯度：≥99%

氖（氢）、氧（氩）、氮、甲烷总含量，%≤1

水分含量，露点，≤-43℃
2、纯氦
项目名称指标

优等品一等品合格品

氦气纯度，%≥99.99599.99399.99

氖含量，ppm≤152540

氢含量，ppm≤357

氧（氩）含量，ppm≤355

氮含量，ppm≤101725

一氧化碳，ppm≤111

二氧化碳，ppm≤111

甲烷量，ppm≤111

水分含量，ppm≤101520
3、高纯氦气
氦气纯度>99.999%，

杂质含量（ppm）：

O2≤0.5，

N2≤1.0，

CO≤0.5，

CO2≤0.5，

CH4≤0.5，

H2O≤0.5，

Ne≤8.0；
4、超纯氦气
氦气纯度>99.9999%，

杂质含量（ppm）：

N2≤0.5，

O2≤0.5，

Ne≤0.5，

CO≤0.1，

CO2≤0.1，

THC≤0.1，

H2O≤0.2；