关于标准气体和混合气体准度的问题
无论是计量用的标准气体还是电子混合气体,准确性是第一要素。如何确保标准气体准确、稳定,是我们迫切需要关注和解决的问题。因为气瓶厂只能依赖于标气公司做配气、分析等效果考察工作,或许Cl2 10 x 10-6-N2 处理接果不错,而Cl2 5 ×10 6_N2 就不满意了,所以,此项工作类假于杂交水摇的培育,需要长期不间断的考察研究,最好是多部门的联合攻关作战。若没有国家的资金支持,目前的背景下,完成此项意义重大、经济效益不突出的研究,真的有存在的可能性?可见气瓶的稳定性问题将长期困扰中国气体的进步与发展。
对于盛装电子混合气体的气瓶,内表面决不能采用高分子材料处理。根据研究验证,无论何种高分子材料,都有一定量的有提物释放,这些碳氢化合是IC制造“有害”杂质尤其是在夏季,释放会加剧。目前国内许多事旧气瓶,由于内表的处理没有清晰的标识,若再使用充装类似 N02 等强氧化气体,应引起注意,否则会出现严重的安全方面的事故。
此外,原科气体的纯度也是影响辑掘气体准嚣的鼓要因素。目前市场竞争十分激烈,对于液化压缩气体,由于存在气液两相,组分尤其是较轻的组分,会随温度的变化而变化,应经常测定其浓度。必要时使用前多次置换吹扫系统,达到降低轻组分含量的目的,如高纯、C02 气体长期不用,若质量不好,气相中CH4 、N2、02 、CO含量飙升,可以通过小流量的放空处理解决,而对于较重的组分,建议留10%-20%的瓶底
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