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PRUDUCTS
R51SL 系列高安全性膜片式减压器,其结构采用多项安全设计,选用优质原材料制造,输出压力稳定,特别适用于强腐蚀性和剧毒性的气体介质。
结构特点 Features
单级式减压结构
膜片与母体采用硬密封结构,并有二次密封保护
上盖带有多重密封保护和排放接口
母体接口:1/4” 面密封内螺纹
安全压力:1.5 倍最大使用压力
输入压力:500 psi,1500 psi,3000 psi
输出压力:0-25 psi,0-50 psi,0-100 psi,0-150 psi,0-250 psi
适用温度:-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
泄漏率:1×10-9 mbar.l/s
CV 值:0.16
重量:1.54 kg (3.42 lbs)
材质 Materials
母体:316L (EP),可选 C22 哈氏合金
阀座:PCTFE
膜片:C22 哈氏合金
阀杆:C22 哈氏合金
适用范围 Typical Applications
半导体
太阳能
真空镀覆设备
特气制备